JIS規格によると、「平行度とは、基準平面に平行なある感覚を持つ、互いに平行な二つの平面の間の空間を表す」と規定されています。

測定方法（ラップ・ポリッシュにおける）

(A) オプチカルフラットによる測定

現在のところ、平行度を測定する専門の、また、正確に測定するものは残念ながらありません。よって、測定は全体の総厚みをマイクロメーター又は、ハイトゲージで測定し、その差を読みとるのが一般的です。