

主にダイヤモンド砥粒で金属プレート、樹脂混合プレート(ケメット他)とGCアルミナ等の砥粒で用いられる鋳鉄プレート、ガラスプレート等、様々な被研磨材(ワーク)にあわせたプレートを提案いたします。

研磨プレート メンテナンス(平面出し・再溝加工・素材張り替え)
研磨プレートは継続的に使用していくと当然ながら消耗します。また、プレート面のスパイラル溝の磨耗、偏磨耗、傷(打痕)などにより研磨精度が落ちてしまいます。
定期的に平面度を測定し、精度を保つフェーシング加工(平面出し)、再溝加工、プレート素材の張り替えなどのメンテナンスを推奨しています。
お気軽にお問い合わせください。
定期的に平面度を測定し、精度を保つフェーシング加工(平面出し)、再溝加工、プレート素材の張り替えなどのメンテナンスを推奨しています。
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錫結晶に細粒化処理を施した錫プレートの採用により、優れた平面度、面粗さが得られ、安定した研磨レートも得られます。

錫にビスマス等の金属を混合したプレートであり、ダイヤモンドスラリーを用いたセラミックや複合材料の仕上げ工程に最適です。
金属添加物により金属プレートの硬度のコントロール及びスクラッチの原因となる金属の結晶粒界の形成を防ぎます。
金属添加物により金属プレートの硬度のコントロール及びスクラッチの原因となる金属の結晶粒界の形成を防ぎます。

金属銅からなるプレートであり、ダイヤモンドスラリーを用いたセラミックや複合材料を急速にラップする場合に最適です。

樹脂混合鉄は、鉄と高分子の樹脂の複合素材からなるプレートであり、セラミック、金属、複合材料等の素材を急速にラップする場合に最適です。ダイヤモンドスラリーとの組み合わせで、従来の鋳物プレートにGC・アルミナのラップに代わる全く新しいシステムです。





樹脂混合セラミックは、アルミナセラミックと高分子の樹脂の複合素材からなるプレートであり、ポーラスのあるセラミックスやその他の複合材の精密仕上りラップ、ポリッシュに最適です。
アルミナセラミックの粒径により、いくつかのプレートが作成可能です。
例)ケメット製 LC(15μm),LF(5μm),XF(1μm)
アルミナセラミックの粒径により、いくつかのプレートが作成可能です。
例)ケメット製 LC(15μm),LF(5μm),XF(1μm)

GC・アルミナを用いたラッピング加工で最も一般的に用いられるプレートです。

花崗岩(御影石)からなり、金属・シリコンウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。


パイレックスガラス、青板ガラス、白板ガラスなどからなり、シリコン・化合物半導体ウエハ等の様々な材料のラッピング・ポリッシングに用いられるプレートです。