※ 画像はオプション装着仕様（TR15S-ODAC）です
磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。プレート面の振れや摺動抵抗等の精度を追求することにより、加工対象物に無理な力をかけずに安定した加工レートを得られ、且つ加工中のスクラッチ発生を除去しています。
また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。
加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構の採用によりさまざまな高精度を要求する分野に対応したラッピング装置です。
また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。
加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構の採用によりさまざまな高精度を要求する分野に対応したラッピング装置です。
【用途】
【対象素材】シリコン、サファイア、セラミック、金属（ステンレス、アルミ、銅など）、InP、GaAs、GaP、GaN、SiC、水晶、石英、樹脂など。
サファイア鏡面加工 |
金属真空チャック加工 |
オプチカルフラット鏡面加工 |
 
金属(銅、ステンレス、アルミなど)鏡面加工 |
シリコンウェハ加工 |
|
| ラッププレート関係 | |
|---|---|
| ラッププレートの大きさ | 外径φ380mm |
| ラッププレートの回転数 | 0〜300rpm 無段階変速 |
| ラッププレートの冷却方式 | 恒温水循環方式 |
| フェーシング関係 | |
| フェーシングバイト 送り速度 | 0〜500mm/min |
| フェ−シングバイト 切込方法 | 1目0.01mmマイクロメータヘッド |
| オシレーション関係 *オプション | |
| オシレーション揺動ストローク | 0〜30mm |
| オシレーション速度 | 無段階速度 |
| 強制駆動機構 *オプション | |
| 強制駆動ドライブ数 | ２軸（オシレーション使用時） |
| 強制駆動速度 | 無段階速度 |
| ドライブ方式 | ベルト伝達駆動 |
| ネジ切り機構 *オプション | |
| スパイラルピッチ | 0.1〜9.9mm |
| エアーシリンダー機構 *オプション | |
| エアーシリンダーストローク | 100mm |
| 加圧重量範囲 | 10〜50kg |
| 供給エアー | 5.0kg/cm2 |
| 加工対象 | |
| 最大加工サイズ 丸 | 約φ140mm |
| 最大加工サイズ 角 | 約□95mm |
| 装置重量寸法 | |
| 装置本体重量 | 約800kg |
| 寸法（エアーシリンダー含む） | 幅700mm×奥行1530mm×高さ1671mm |
