研磨装置・研磨機
TM15RD - 自動定寸片面ラッピングシステム
案内
Siウエーハや化合物ウエーハ等のラップ加工やバックラップ加工、その他、様々な電子部品材料や試料等の研磨加工に際し、研磨量の絶対寸法管理に最適です。
高精度プリセッター治具を用いてプロセス中に研磨量を測定し、プロセスの制御(停止)を行います。
また、加工中の研磨量はワイヤレス(無線)伝送によって研磨装置に導入されるため、従来のワーク固定式加工(有線の為、加工対象物を回転させられない)とは異なり、運動抵抗による片辺りや反りなどを気にする事なく加工精度の追求が行えます。
その他、各加工プロセスの度に治具や加工対象物を配線するなどの煩雑な作業が不要となる事で、よりスムーズな加工が行えます。
更にこのプログラムはWindows上で動作するため、測定データ等の管理も簡単です。
将来の拡張機能として、貴社社内LAN接続による遠隔コントロールも可能です。

※ T-WMCS(ティーワムクス)
 Techno Rise Wireless Measure Control System
仕様
※ 下記仕様はスタンダードモデルのものです。
ラッププレート関係
ラッププレートの大きさ 外径φ380mm
ラッププレートの回転数 0〜100rpm 無段階変速
ラッププレートの冷却方式 冷却機構(オプション)
加工軸関係
加工軸数 2軸(強制ドライブ含)
強制ドライブ軸 1軸
オシレーション軸 1軸
強制駆動速度 無段階変速
ドライブ方式 ベルト伝達駆動
オシレーション軸関係
オシレーション揺動ストローク 0〜30mm
オシレーション速度 無段階速度
試料研磨用高精度プリセッター冶具
加工軸数 3軸(単軸加工可能)
最大研磨サイズ 30mm(3軸)(サイズ変更可能)
ベースガイドリング アルミナセラミックス
(ダイヤモンドコーティング等 選択可能)
測定形態 3軸個別測定
最小読み取り単位 1μm
制御部
内蔵タイマーモード/ 外部制御モード 2モード選択式
内蔵タイマーモード 内蔵タイマーによりプロセス終了
加工時間設定  0.1s(最小) 
〜9999h(最大)
外部制御モード 外部信号入力によりプロセス終了
T-WMCSから停止信号入力
T-WMCS(ワイヤレスメジャーコントロールシステム)
コントロール用PC WINDOWSモデル
コントロールソフト T-WMCS Ver.1.3
<動作関連>
本システムのPCソフト上に研磨停止寸法を入力します(最小入力単位 1μm)。
研磨治具から研磨中オンタイムで計測・ワイヤレス送信されるデータが設定した寸法値に達した場合、研磨装置(TM-15RD)に停止信号を送信します。(その他のアプリケーションによって様々な拡張が可能です。)
装置重量寸法
寸法 (ワイヤレスメジャー コントロール用
PCは除く)
幅650mm×奥行540mm×高さ340mm
装置重量 約200kg(付属品含)
お問い合わせください
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