ボンディング装置(貼り合わせ装置)
シリンダー式貼り合わせ装置 - SP200
案内
シリンダー式貼り合わせ装置本機は、サファイア・GaAsに代表されるようなウェーハの接着用装置です。
エアーシリンダーとフレキシブル加圧プレートを用いて加圧し、ウェーハの傾きを補正して接着します。
仕様
※ 下記仕様はスタンダードモデルのものです。
対象支持基板径 最大φ200mm対応
加圧貼り付け方法 エアーシリンダー加圧
加圧力 MAX 60kg
冷却機構 水冷式
機械寸法(フルオプション) 900W×400D×650H
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