装置
研磨装置
超精密高度研磨に対応するラッピング・ポリッシング装置
卓上型片面研磨装置
据置型片面研磨装置
両面研磨装置
CMP装置
化学的(ケミカル)と機械的(メカニカル)を用いて、平坦化加工をする装置
卓上型
据置型
特殊研磨装置
お客様の用途に応じてカスタムを施した研磨装置
貼り合わせ装置
研磨・CMP 薄板加工の工程に不可欠な加工対象物の貼り合わせをする装置
洗浄機
半導体や金属部品の洗浄装置
特殊加工装置
高精度な要求を可能にする様々な加工装置、評価装置の設計製作
  • ブラシポリッシャー
  • カラーフィルター用膜リムーバー液リサイクル装置
治工具
さまざまな分野のニーズに対応した治工具の設計から製作までいたします。
  • ワークチャック治具
  • 位置決め治具
お問い合わせください
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